超声波清洗机的QDR是怎样实现的

超声波清洗机的QDR是怎样实现的

一、喷洒清洗

超声波清洗机上喷淋管路一共有双路，产生互相交叉式喷洒，但去离子水不适合立即喷洒清洗晶圆表面，因晶圆在切沟作用下立即喷洒晶圆表面，易产生颗粒淤泥而环境污染晶圆表面，因而，在去离子水的喷洒环节中，必须对清洗压力、水流量、方向和视角作出调整检测，以达到颗粒环境污染少不错实际效果。较好的喷头所喷洒范畴包含所有晶圆及片盒；而不良喷洒清洗样子，并没有包含所有晶圆及片盒，没被喷洒清洗的盲区地段，颗粒、残渣及有机化学药水残余成分依然非常高，而无法达到较好的清洗实际效果。

二、鼓泡游泳清洗

上喷洒与此同时，下喷淋管路由器底端两边持续渗水，然后由内槽上沿四周外溢，那样，每一个晶圆片缝、各个地方边缘的去离子水都可以持续获得升级。与此同时，纯粹汽体（氢气或空气压缩）自下喷淋管路进到干燥槽。鼓泡有以下几个功效：

（1）增强了去离子水的侵蚀力，对干燥槽自身有非常好的自清洗功效；

（2）晶圆在流水中晃动，汽泡不可以沾附其上，提升了清洗实际效果；

（3）N2鼓泡降低去离子水里的氧气含量，避免在晶圆表面形成金属氧化物。

三、超声波清洗

QDR增强了超声波作用选择项，与鼓泡游泳清洗更替功效，极大提升了清洗高效率，并进一步降低DI水使用量。最典型的运用方法是什么：上喷洒+排出→上喷洒+下渗水→超声波+上喷洒+溢流式→鼓泡+上喷洒+溢流式→快排出

四、快冲快排

喷洒灌满水时间与排水管道时长，对晶圆清洗品质有很大影响。因晶圆表面暴露在空气中会触碰空气中的氧原子或水蒸气，在常温状态，即会生长发育一层薄薄的氧化层（大约为0.5~1nm），这层当然金属氧化物厚度与暴露在空气中的时间长短有关系，因而，喷洒灌满水时间越久，晶圆暴露在空气中的时间也也就越长，因此所形成的氧化层也越厚，那对晶圆清洗，是很不利的。QDR排水管道的时间也越少，排水管道流动速度就会越大，有益于去离子水带去晶圆表面里的颗粒残渣。因而，在QDR设计里，要尽可能的减少喷洒灌满水时间与排水管道时长，完成快冲灭火吹，总体高效率也会得到提升。超声波的QDR灭火吹及灌水时长指标值为：引入时长：≤120秒，排出时长：≤12秒。